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產品型號:WTH-A
廠商性質:生產廠家
更新時間:2025-08-01
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大型步入式恒溫恒濕試驗箱半導體行業用
產品性能

大型步入式恒溫恒濕試驗箱半導體行業用
核心優勢
超高控制精度:溫度波動度達 ±0.2℃,濕度控制精度 ±1% RH,滿足半導體器件對微環境變化的嚴苛敏感需求。
無塵環境兼容:內部采用 316L 不銹鋼鏡面內膽,配備高效除塵系統,符合半導體行業無塵測試標準。
抗干擾設計:電氣系統采用電磁屏蔽技術,避免溫濕度控制模塊對半導體器件的電磁干擾,測試過程中信號噪聲≤-90dB。

行業定制化:工作室可集成防靜電地面(電阻 10?~10?Ω)、氮氣保護接口,適配半導體產品的特殊測試需求。
能效優化:采用變頻制冷壓縮機與熱回收技術,在 85℃/85% RH 工況下能耗較傳統機型降低 30%,符合半導體行業綠色生產要求。
安全冗余:配備氣體泄漏檢測、超溫聯鎖保護、緊急斷電系統,通過 SEMI S2 安全認證,保障高價值半導體器件的測試安全。

專為半導體行業設計,用于芯片封裝、晶圓制造設備、集成電路模塊等大型半導體產品的環境可靠性測試。可模擬無塵車間溫濕度波動、運輸過程氣候、長期運行高濕環境等場景,評估半導體器件的電學性能穩定性、材料耐老化性及封裝密封性,滿足 JEDEC JESD22-A101、IPC-9701 等行業標準,為半導體產品的研發、量產質檢提供數據支撐。

技術參數
溫度范圍:-70℃~150℃(覆蓋半導體全生命周期測試溫區);
濕度范圍:5%~95% RH,波動度 ±1% RH,均勻性≤2% RH;
溫度波動度 ±0.2℃,均勻性≤1℃;
工作室容積:30~300m3(可容納完整晶圓傳送系統);
升降溫速率:0.1~5℃/min(支持步進式精密調節);
潔凈等級:Class 1000(內部塵埃粒子≤3520 particles/m3@0.5μm);
電源:380V/50Hz(配備穩壓電源,電壓波動≤±1%)。


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