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大型步入式恒溫恒濕試驗箱半導體行業用

大型步入式恒溫恒濕試驗箱半導體行業用專為半導體行業設計,用于芯片封裝、晶圓制造設備、集成電路模塊等大型半導體產品的環境可靠性測試

  • 產品型號:WTH-A
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2025-08-01
  • 訪  問  量:306
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詳細介紹

生產廠家廣東皓天檢測儀器有限公司擁有專業的生產研發技術,一站式周到服務。作為一家專注于試驗設備產品的大型儀器制造商,皓天設備致力于為消費者提供技術、品質的優秀產品。

大型步入式恒溫恒濕試驗箱半導體行業用

產品性能

采用無塵級風道設計,氣流經 HEPA 高效過濾后層流輸送(風速 0.3~0.5m/s),避免塵埃污染半導體器件。溫濕度過渡響應時間≤5 分鐘,在 - 40℃~125℃循環測試中,溫度超調量≤0.5℃。設備可連續運行 5000 小時,測試數據重復性,確保芯片漏電率、封裝應力等關鍵參數檢測的精準性。


大型步入式恒溫恒濕試驗箱半導體行業用


大型步入式恒溫恒濕試驗箱半導體行業用

核心優勢

  1. 超高控制精度:溫度波動度達 ±0.2℃,濕度控制精度 ±1% RH,滿足半導體器件對微環境變化的嚴苛敏感需求。

  1. 無塵環境兼容:內部采用 316L 不銹鋼鏡面內膽,配備高效除塵系統,符合半導體行業無塵測試標準。

  1. 抗干擾設計:電氣系統采用電磁屏蔽技術,避免溫濕度控制模塊對半導體器件的電磁干擾,測試過程中信號噪聲≤-90dB。


大型步入式恒溫恒濕試驗箱半導體行業用


產品優勢
  1. 行業定制化:工作室可集成防靜電地面(電阻 10?~10?Ω)、氮氣保護接口,適配半導體產品的特殊測試需求。

  1. 能效優化:采用變頻制冷壓縮機與熱回收技術,在 85℃/85% RH 工況下能耗較傳統機型降低 30%,符合半導體行業綠色生產要求。

  1. 安全冗余:配備氣體泄漏檢測、超溫聯鎖保護、緊急斷電系統,通過 SEMI S2 安全認證,保障高價值半導體器件的測試安全。

  2. 大型步入式恒溫恒濕試驗箱半導體行業用

用途

專為半導體行業設計,用于芯片封裝、晶圓制造設備、集成電路模塊等大型半導體產品的環境可靠性測試。可模擬無塵車間溫濕度波動、運輸過程氣候、長期運行高濕環境等場景,評估半導體器件的電學性能穩定性、材料耐老化性及封裝密封性,滿足 JEDEC JESD22-A101、IPC-9701 等行業標準,為半導體產品的研發、量產質檢提供數據支撐。

大型步入式恒溫恒濕試驗箱半導體行業用

技術參數

  • 溫度范圍:-70℃~150℃(覆蓋半導體全生命周期測試溫區);

  • 濕度范圍:5%~95% RH,波動度 ±1% RH,均勻性≤2% RH;

  • 溫度波動度 ±0.2℃,均勻性≤1℃;

  • 工作室容積:30~300m3(可容納完整晶圓傳送系統);

  • 升降溫速率:0.1~5℃/min(支持步進式精密調節);

  • 潔凈等級:Class 1000(內部塵埃粒子≤3520 particles/m3@0.5μm);

  • 電源:380V/50Hz(配備穩壓電源,電壓波動≤±1%)。


大型步入式恒溫恒濕試驗箱半導體行業用


溫度控制系統
采用半導體級 PLC 控制系統,搭配 10 英寸防菌觸摸屏,支持 2000 段可程式運行,內置 JEDEC 標準測試模板。搭載 16 點分布式鉑金電阻傳感器(精度 ±0.05℃),結合 PID + 模糊控制算法,實現納米級溫度調節響應。系統具備與 MES 系統對接功能,支持實時數據加密上傳、遠程監控及測試流程追溯,滿足半導體行業數據合規要求。



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